ULPA過(guò)濾器特點(diǎn)及相關(guān)知識講解

　　ULPA過(guò)濾器全稱(chēng)為超高效空氣過(guò)濾器，或稱(chēng)超低穿透率空氣過(guò)濾器，對0.1~0.2μm的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過(guò)濾效率達到99.999%以上。ULPA超高效過(guò)濾網(wǎng)，ULPA是在HEPA的基礎上經(jīng)進(jìn)一步加強了HEPA的過(guò)濾效果,ULPA對0.3微米以上的微粒子的過(guò)濾效率達到99.9999%以上。ULPA與HEPA相比，濾料結構更緊湊、過(guò)濾效率更高, 但同時(shí)， 阻力也更高。下面由北方濾器為大家講解ULPA過(guò)濾器特點(diǎn)及相關(guān)知識：

　　[一]ULPA過(guò)濾器特點(diǎn)：

　　濾芯用超細玻璃纖維濾料經(jīng)打膠折疊而成，外框可選用夾層木板、鍍鋅銅板、不銹鋼板及鋁合金板，通過(guò)聚氨酯膠緊密粘接，具有質(zhì)量輕、透氣量大，集塵率高達99.95-99.999%，且耐堿，耐高溫。

　　[二]ULPA過(guò)濾器用途：

　　適用于10000級-100級潔凈系統，空調系統，因此產(chǎn)品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫藥線(xiàn)路、照相機和光學(xué)儀器、精密機械等多個(gè)領(lǐng)域。

　　[三]ULPA過(guò)濾器測試方法及其特點(diǎn)：

　　1)粒子計數法

　　此法是以離散粒子計數器 (DPC) 作為檢測儀器，測試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質(zhì)，選擇范圍較寬，常用多分散氣溶膠，如 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。此法靈敏度較高，目前主要用于 ULPA 過(guò)濾器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的測 試，當然亦可用于 HEPA 過(guò)濾器的測試。替代 DOP 法當已是趨勢。

　　2)DOP法

　　此法是以光度計作檢測，測試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。

　　3)鈉焰法。

　　此法采用火焰光度計，它對 NaCl 燃燒的火焰色度 ( 相當于 NaCl 的質(zhì)量 ) 作響應， NaCl 質(zhì)量粒徑分布在 0.02-2μm 間或更狹一些。其質(zhì)量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm 間。此法靈敏度低，且 NaCl 對微電子工廠(chǎng)的產(chǎn)品質(zhì)量有害，因此國外早已不用。

　　4)MPPS法

　　過(guò)濾器測試時(shí)，需先測定濾料的 MPPS ：另外，其對過(guò)濾器效率的測試不是采用整體測試，而是掃描測試每一處的局部穿透率然后統計處理得出穿透率及效率。大允許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多。

　　[四]ULPA過(guò)濾器誤差及控制

　　(1)氣溶膠濃度變化會(huì )影響測試結果，因此其濃度均勻及穩定亦是必須保證的，常需通過(guò)混勻器及多點(diǎn)測試并調整進(jìn)行控制。

　　(2)流速，除粒徑外是影響過(guò)濾器效率的較重要的因素。因此必須使流速均勻并穩定。常需通過(guò)測定并調整進(jìn)行控制。

　　(3)氣溶膠粒子在測試系統內會(huì )沉積，會(huì )影響測試結果，需采用盡量短的管路并合理布置。

　　(4)在用冷發(fā)的氣溶膠時(shí)，氣溶膠在噴嘴內進(jìn)行機械破碎時(shí)會(huì )帶靜電 ( 熱發(fā)時(shí)不存在 ) ，因此需要設中和器加以中和，以免粒子沉積。

　　(5)采用粒子計數器作檢測時(shí)，需注意避免重疊誤差需采用稀釋器及本底噪音值的控制并及時(shí)校正。

　　(6)管路內壁由于氣流流動(dòng)時(shí)會(huì )積聚靜電，影響氣溶膠粒子沉積，因此需采用金屬管道并接地。

　　(7)粘度、壓降、溫濕度、振動(dòng)以及非等動(dòng)力采樣都會(huì )在條件下對測試產(chǎn)生影響，一般有的關(guān)系不大，有的易控制或在計算時(shí)加以修正。

　　ULPA過(guò)濾器在各個(gè)行業(yè)使用都非常，它適用于10000級-100級潔凈系統，空調系統，因此產(chǎn)品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫藥線(xiàn)路、照相機和光學(xué)儀器、精密機械等多個(gè)領(lǐng)域。

　　更多關(guān)注：

ULPA過(guò)濾器產(chǎn)品特點(diǎn)及使用范圍